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武汉墨光(图)-红外光学-光学

2019-06-19 104) 喜欢:(2) 举报/删帖 喜欢

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刘总

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你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

镜片数22片

物高31mm

物方数值孔径NA 0.2

波长为UV

像方晶圆尺寸是12.66mm

总长小于1200mm

这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,分两步设计。首先,光学,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。




SYNOPSYS?使这种参数研究变得快速而简单。

我们应该解释一下“AIP”这个符号。 AI可以让您定义符号,这些符号是一到三个字符的条目,定义为只要它们出现在输入中,程序就会替换一串不同的字符。 但是符号AIP具有其他符号所没有的特殊属性:它可以像我们在这里所做的那样在MACro循环中使用。 每次循环时,程序都会将循环中的下一个数字分配给该符号; 那么MACro中的命令可以在符号出现的任何地方取代该数字而不是数据参数。 通过这种方式,您可以绘制几乎任何其他内容。 您可以在用户手册中了解非常强大的人工智能功能。 只需输入HELP AI即可。

在本课中我们计算了多色波前差。 SYNOPSYS?是唯1可以做到这一点的光学程序,主要是因为没有其他人设计过该项的定义。 例如,考虑一种具有三种波长的完1美图像但具有大量横向色差的镜头。 现在每种波长的方差为零,但像质很差。 人们不能以某种方式添加或平均方差值,因为这会产生误导。 该怎么办?

答案很简单。 当然,红外光学,方差是通过波前计算的,OPD值取决于您获取参考波阵面中心的位置。 在上面的例子中,如果我们在该波长的主光线处采用每种波长的参考,我们在每种波长中得到零的方差。 但是假设我们将单个点作为所有三种波长的参考。 现在,对于它们中的任何一个,方差都不为零,除非它恰好与该波长的主光线重合。 使用该点作为参考,我们得到非零方差,并通过调整其位置,我们可以找到一个小化产生的多色方差的地方。 这就是SYNOPSYS?定义和计算它的方式。 仅限于SYNOPSYS?。

这是SYNOPSYS?中许多独特而友好的功能的一个例子。


然后我们修改zoom 1的要求,光学镜头,所以它们应用于所有的变焦组。现在,如果我们想改变某个地方的权重,它将应用于所有变焦组。

除了终止AANT文件的END之外,ZGROUP指令还需要自己的END来终止组。 最后,我们在ZGROUP命令行之前添加一个新的探测器ADT 8 1 1,以控制元件厚度,并重新优化和模拟退火。


现在我们拥有一个相当不错的镜头,有12个镜片。

我们猜测镜片1和3处的元件可以合并为一个元件。



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