轮廓测量仪操作规程

1. 选择“轮廓测量”时，请确认测针的类型是否可以测量所需测量工件。如不行，光学3d轮廓测量仪报价，请更换测针。

2. 测量前一定要确保工件装夹稳固，防止发生倾倒损伤仪器，确保探针臂在运行过程中不会触碰工件。

3. 小心地将测针移动靠近被测面上。确认测量路径可行。（工件所需测量水平方向量程中，不会出现干扰探针或者传感器的情况出现。）

4. 测量时，请小心测针与传感器，不要发生碰撞的情况，请不要靠在机器上或除震台上，也不要用手触摸工件或者测针。

三维轮廓测量仪/三维表面形貌仪采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精1确的、价格合理的计量方案。

3D轮廓测量仪应用领域：

光电子材料与器件、材料科学表面分析， MEMS微器件、LED芯片，光学测量、 光学加工、精密机械加工，高等学校光学技术及物理光学实验等。

特点

1.鲜艳真彩色白干涉图

2.表面反射率4% 到100%均可测试

3.粗糙度测试范围0.2nm-200nm

4.粗糙度测试参数Ra，RMS，Rz

5.粗糙度测试精度与进口仪器相当

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