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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON 

INFICON皮拉尼复合真空计

产品型号：BPG400

I

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制，从低至超高真空范围

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

很好的重复性，压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件，保证高度重复性

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优点 10 毫巴以上与气体类型无关 – 允许用任何混合气体安全放空 在大气压下高精度和重复性 – 用于可靠的大气压强检测 快速大气压检测 – 无需等待时间和缩短过程周期 任意的安装方位 –

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Pfeiffer TCP380分子泵驱动器维修成功

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